| Jabatan | Nama |
|---|---|
| Dekan | Prof. Ir. Wahyu Srigutomo, S.Si., M.Si., Ph.D. |
| Wakil Dekan Bidang Akademik | Prof. Dr. Ir. Umar Khayam, S.T, M.T., IPM |
| Wakil Dekan Bidang Sumber Daya | Dr. Eng. Ir. Mirzam Abdurrachman, S.T, M.T. |
Ketua Program Studi
| Magister dan Doktor Teknologi Nano | Triati Dewi Kencana Wungu, S.Si., M.T, Ph.D. |
| PSPPI | Dr.phil.nat. Ir. Agus Haris Widayat, S.T, M.T. |
Kantor Administrasi
| Kepala Administrasi | Yulia Helmi S.E. Ak., QGIA. |
| Sub Sarana Prasarana dan Sistem Informasi | Tarsiwad, S.AP., M.M. |
| Sub Administrasi Akademik, Kemahasiswaan, dan Kerja Sama | Ani Hamidah Nurhayati, S.Si., MAB. |
| Sub Administrasi Keuangan dan Anggaran | Nurita Nindya Hapsari, A.Md., S.A. |